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我开发新型飞U激光等dȀ元光L?可加工石墨烯

文章来源Q科技日报 作者:??点击Q?span id="HitNum">?旉Q?span id="dTime">2020/5/12 9:22:18

我开发新型飞U激光等dȀ元光L?可加工石墨烯


10日,记者从中科院长春光学精密机C物理研究所hQ来自该所{单位的研究人员Q开发了一U新型飞U激光等dȀ元光L术(FPLQ。利用该技术,研究人员在百U米厚的基氧化矛_烯薄膜表面实C高质量微U_期结构的快速制备。相x果发表在《光Q科学与应用》上?


矛_烯被发现以来Q二l材料逐渐q入Z视野Q成为材料领域的研究热点。自l装、电子束刻蚀和极紫外光刻{技术可以在矛_烯上制备微纳l构Q进而调控其带隙、吸收、蝲子q移率等性能。但q些技术存在着耗时ѝ成本高、缺乏通用性等问题。因此,如何降低成本Q高效制备微U结构石墨烯Q是目前需要解决的重要问题?


飞秒Ȁ光加工技术凭借着高峰值功率和短脉冲持箋旉的独特优势,被广泛应用于多种材料的超_微纳加工领域。然而,以激光直写ؓ例,虽然其精度很高,但在精l微U_备上Q效率仍有待提高。同时保证加工精度和加工效率是该技术需要解决的主要问题之一。“如何利用灵zȝ便的加工手段解决加工_ֺ和加工效率问题是拓展飞秒Ȁ光实用化的关键所在。”中U院长春光学_֯机械与物理研I所研究员杨建军说?


研究首次证明了FPL技术在二维薄膜材料上能够实现大面积高质量亚微米周期l构的快速制备。得益于飞秒Ȁ光的非线性光学特点,FPL技术加工过E不易受材料表面~陷、杂质等因素的媄响,加工基底也不易受到材料种cȝ限制。加工材料表现出了优异的机械性能Q可以利用传l的湿{ULq行完整转移。这为相x料周期性微U结构的灉|制备奠定了基。(记者陆成宽Q?

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